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晶圆检测设备

产品简介

采用高分辨(biàn)率(lǜ)成像的明暗场晶圆表面检测,基于图像算法(fǎ)、检测模型和良(liáng)品异常检测三种模(mó)式,检(jiǎn)出(chū)晶圆表(biǎo)面缺陷(xiàn),并提供数据统计分析

2D检测精确(què)度
um

1

UPH
pcs/h

60

漏检率
ppm

≤50

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