采用高分辨(biàn)率(lǜ)成像的明暗场晶圆表面检测,基于图像算法(fǎ)、检测模型和良(liáng)品异常检测三种模(mó)式,检(jiǎn)出(chū)晶圆表(biǎo)面缺陷(xiàn),并提供数据统计分析
2D检测精确(què)度
um
1
UPH
pcs/h
60
漏检率
ppm
≤50
先进算法储备
AI大模(mó)型(xíng)与小模型(xíng)融合,支持基于良品和不良品的模型(xíng)训(xùn)练方式,支持基(jī)于大模型的智慧(huì)标注和样(yàng)本生(shēng)成,解决样本不均(jun1)衡(héng)场景下(xià)的快速(sù)上线,支持增量学习模式,控制样本集规模,提高模型迭代速度,支持并行、并发的处理模式
数据统计和分析功能
用于检(jiǎn)测和生产过程中的数据统计,提(tí)供多种(zhǒng)看板模版;针对指定缺陷种类或者(zhě)指(zhǐ)定时(shí)间段,提供多种良率统计方式;提供(gòng)多种(zhǒng)数据(jù)保存接口,生产过(guò)程可追溯;针对工业(yè)场景特点,支持灵活(huó)自由配置显示单元(yuán)、统(tǒng)计指标、结(jié)果(guǒ)查询(xún)、导出、上传逻辑;集成统一、可视化的多机位(wèi)硬件(jiàn)接口调(diào)试工具(jù),使调(diào)试过(guò)程更加便捷
算(suàn)法(fǎ)特色
在复杂背(bèi)景影像中。我(wǒ)们依(yī)然可以将污(wū)染正确(què)检出;可以将(jiāng)特定特(tè)征瑕疵给予消除; 自(zì)动产生针痕屏蔽。消除针痕位置,抓取针痕外的瑕疵